Dispositivo de pulverización catódica

El dispositivo de pulverización desarrollado y fabricado por Northglass incluye cátodos giratorios / planos, bloques terminales y barras magnéticas. Y, además, podemos proporcionar diseño y fabricación personalizados para todas las máquinas de revestimientos nuevas y viejas con las partes que se mencionaron anteriormente.

Northglass ofrece cátodo giratorio simple, cátodo giratorio doble, cátodo plano simple y cátodo doble plano. Cada componente del cátodo contiene base del cátodo, tapa, distribución de gas, conexión de agua y electricidad, medición al vacío, sistema de control, etc.

Northglass ofrece tres series de bloques terminales: EB-CAC, EB-CB y EB-CS para cumplir con lo que necesita cada cliente en cada área.
Todos los bloques terminales se pueden mantener por el propio personal capacitado de los usuarios y el programa de capacitación puede puede llevarse a cabo en el taller del usuario, ahorrando tiempo y disminuyendo gastos en gran medida.

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1. Serie EB-CAC
Cada par de bloques terminales se compone de terminales de accionamiento y terminales de agua / eléctricas. La terminal motriz sirve para la rotación del objetivo y el otro es para la conexión de agua / electricidad.
Esta serie se puede utilizar en casi todas las clases de cátodos de revestidores simétricos.

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2. Serie EB-CB
Se compone de una terminal funcional y una de soporte en cada par. La terminal funcional sirve para la rotación del objetivo y la conexión de agua / electricidad, y el otro sirve como soporte.
Esta serie se puede usar en revestidores asimétricos.

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3. Serie EB-CS
Se compone de una terminal funcional y una de soporte en cada par. La terminal funcional sirve para la rotación del objetivo y la conexión de agua / electricidad, y el otro sirve como soporte.
La distancia del sustrato objetivo se puede ajustar de manera sencilla gracias al método de instalación hacia abajo.

• El tubo de soporte de aluminio extruido logra que el imán y su yugo se alejen del agua de enfriamiento con el fin de que se evite el cambio del campo magnético debido a la inmersión en el agua por un extenso periodo de tiempo. Mejora la rigidez de la barra magnética y disminuye la fluctuación del campo magnético gracias a la fricción entre el acero magnético doblado y el tubo objetivo.
• La uniformidad del campo magnético es capaz de controlarse de manera precisa a través del uso de una nueva estructura de ajuste de rosca.
• El agua de enfriamiento es expulsada de manera directa desde la ubicación de alta temperatura del tubo objetivo, removiendo así el calor eficientemente.
• Es fácil y conveniente para instalar y mantener.